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产品优势
一体成型设计
一体成型设计
整机一体成型设计
自主研发
自主研发
自主研发FTR机械手，适配多类型300mm FOUP
搭载双口开盒器
搭载双口开盒器
后端搭载双口开盒器（FIMS），实现Front N2 purge
可选配
可选配
可选配Shelf N2 purge
产品参数
负载
≤10kg
重复位置精度
±0.1mm
工位数
18
振动
≤0.45g
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产品与解决方案
产品中心 行业应用 解决方案
服务支持
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